薄膜的電學性質(zhì)，如電阻率、電阻溫度系數(shù)、介電常數(shù)等及其與膜厚、外加電場、環(huán)境溫度等的關(guān)系直接決定了薄膜在各種實際應用中的性能。金屬薄膜、介質(zhì)薄膜、半導薄膜和超導體薄膜的電學性質(zhì)都不一樣。